ffu系统中mau加热量怎么计算
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百级层流罩采用了可调风量的风机系统,通过调节风机的工况,可使洁净工作区中的平均风速保持在额定的范围内(0.45m/s),采用不锈钢风速仪检测风速,并反回由控制器将风机风速恒定在设定值。ffu系统中mau加热量怎么计算。
ffu系统中mau加热量怎么计算,FFU净化单元的结构和原理FFU净化单元是由不锈钢或冷板烤漆箱体、低噪声离心式风机、初效过滤器、过滤器、电源等组成。当FFU风机运转后,室内空气经过初效过滤器压入静压箱内,再通过过滤器除尘后,送出洁净空气并使洁净空气呈垂直气流送进工作区域内,从而满足实验、生产、科研的要求,气流经过的工作区域为密封的空间,这样净化效果更容易保证.
ffu系统中mau加热量怎么计算,FUU层流罩为局部净化设备,使用场景要求非常低,用以给予部分相对较高的洁净度等级,适宜改建工程,及总体规定并不是很高,仅仅达到部分规定工程项目。可单用,也可以大规模并接应用。FFU配有初高效率二级过虑滤网。离心风机从FFU顶端将室内空气吸进并且经过初、高效送风口过滤后的洁净的空气在所有出风面以0.45m/s+20%的风量匀称送出去。
ffu系统中mau加热量怎么计算,FFU层流罩特点应用相关:A、灵活性。因为层流罩是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,层流罩的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。B、可再利用性。从理论上讲,一时不用的层流罩设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。C、负压通风。这是层流罩的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。