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风淋室在微电子行业中使用的结构原理

文章出处:wangluobu 人气:207更新时间:2023-09-20 09:25:45

  微电子行业使用的风淋室跟普通场所用的风淋室除了部分细节方面的设置以外,总体结构原理基本相同,微电子行业使用的风淋室对除尘效果要求相对会更高的一些,如果一个小的部件做不到位,那可能带来的就无法估量了,在这里简单说一下风淋室的结构原理。

  1、概述:风淋室是洁净厂房和装配式洁净室的设备,用于吹除进入净化厂房的人体和携带物品表面附着的尘埃,同时风淋室也起到气闸的作用,防止未经净化的空气进入洁净区域,是进行人体净化和防止外空气污染洁净区的有效设备。

  结构:系列风淋室均采用发泡隔热彩色壁板及铝合金构件装备而成,配置离心机风机及初效和高效空气过滤器,具有外型美观、结构紧凑、检修方便、操作简单等特点。

  2、原理:风淋室内的空气由风机的作用经初效过滤器进入静压箱,经高效空气过滤器过滤后,洁净空气从风淋室的喷嘴高速喷出,喷嘴角度可调节,可有效地吹除人特或携带物品表面附着的尘埃,吹下的尘埃再回收进入初效空气过滤器,如此循环可以达到风淋的目的。

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  3、用途及特点:风淋室是操作人员进入洁净室时使用的人身净化装置,它利用高速洁净气流吹淋除掉进入室内人员身上的污物,其喷嘴可调节,以便有效除去人身上的灰尘,并阻止外界污染进入洁净区域。它也可应用于大件货物的吹淋。

  4、设备组成:主要由室体、照明、过滤系统、风机组、吹嘴、电控等部分组成。