实验室FFU
文章出处:wangluobu 人气:507更新时间:2023-08-10 16:31:44
实验室FFU(Fan Filter Unit),是一个自带送风机(无壳风机)的高效过滤器送风口,它与其专用龙骨系统(iling Grid)、冷却盘管(一般为干盘管)、加压风机、新风系统以及专用灯具共同组成了FFU系统。
实验室FFU的使用方式是新风有新风空调机处理至所需状态点后送入,在静压箱内与回风混合后经FFU的风机加压后经HEPA或ULPA送入室内,再经架空地板或侧墙回至干盘管,在此经冷(热)处理后经由回压机送回至静压箱完成循环。这样的系统为常用于有超静要求的洁净室,如大型集成电路晶圆的制造、尖端显示器如TFT、PDP等的制造、硬盘的制造等。